CE-zertifizierte Vakuum-Helium-Leckage-Detektormaschine für die Halbleiterindustrie

SFJ-16M Helium-Leckage-Detektor

Leistungsindikatoren






 

Mindestleckrate, die nachweisbar ist
(Pa·m)³/s) / Vakuummodus

Der Prüfstand ist in der Lage, die Prüfungen durchzuführen.5.0 × 10^{- 13 Jahre.} Schnüren³/s(Heliumpumpengeschwindigkeit > 5 l/s)
In Vakuummodus (FINE):1.0 × 10^{- 12} Schnüren³/s(Heliumpumpengeschwindigkeit 2,5 L/s)

Mindestleckrate, die nachweisbar ist
(Pa·m3/s) / Schnüfflermodus

5.0 × 10^-8Schnüren³/s

Antwortzeit (s)

< 1

Startzeit (min)

≤ 95 Sekunden

Leckage-Erkennungsbereich
(Pa·m)³/s)

5.0 × 10^{- 13 Jahre.}~ 1,0 x 10^-3Schnüren³/s

Anzeigebereich der Leckrate
(Pa·m)³/s)

1.0 × 10^{- 13 Jahre.}~ 1,0 x 10^-3 Schnüren³/s

Höchstzulässiger Leckage-Erkennungsdruck ((Pa)

1500

Nachweisbare Qualität

2,3,4 ((H2, He3, He4)

Grundkonfiguration










 

Mensch-Maschine-Schnittstelle

5" Farb-LCD-Touchscreen

Ionenquelle

2 Stück, mit Iridium beschichtetem Yttrium-Oxid, automatischer Schalter

I/O Eingabe-/Ausgabeoberfläche

Acht Eingänge und acht Ausgänge

Kommunikationsschnittstelle

RS232/485, LAN

MES-Schnittstelle

Standards

Physische Größe des Instruments
(W) ×(D) ×(H), mm

592 * 498 * 370 mm

Spezifikationen des Leckdetektionshafens

DN16 KF/2 Stück

Stromversorgung

DC24V

Betriebstemperatur

0 bis 40 °C

Macht

240 W

Anzeigesprache

Sowohl Chinesisch als auch Englisch

Anzeige der Leckrate

Abbildung, Balkendiagramm, Kurvendiagramm