CE-zertifizierte Vakuum-Helium-Leckage-Detektormaschine für die Halbleiterindustrie

SFJ-16M Helium-Lecksucher

Leistungsindikatoren






 

Minimale nachweisbare Leckrate
(Pa·m³/s) / Vakuummodus

Vakuummodus (ULTRA):5,0×10^-13 Pa·m³/s (Helium-Pumpleistung >5 l/s)
Vakuummodus (FEIN):1,0×10^-12 Pa·m³/s (Helium-Pumpleistung 2,5 l/s)

Minimale nachweisbare Leckrate
(Pa·m3/s) / Schnüffelmodus

5,0×10^-8 Pa·m³/s

Ansprechzeit(en)

<1

Startzeit(min)

≤95s

Lecksuchbereich
(Pa·m³/s)

5,0×10^-13~1,0×10^-3 Pa·m³/s

Anzeigebereich der Leckrate
(Pa·m³/s)

1,0×10^-13~1,0×10^-3 Pa·m³/s

Maximal zulässiger Lecksuchdruck(Pa)

1500

Nachweisbare Qualität

2,3,4(H2 , He3, He4)

Grundkonfiguration










 

Mensch-Maschine-Schnittstelle

5 "Farb-LCD-Touchscreen

Ionenquelle

2 Stück, iridiumbeschichtetes Yttriumoxid, automatische Umschaltung

E/A-Eingangs-/Ausgangsschnittstelle

Acht Eingänge und acht Ausgänge

Kommunikationsschnittstelle

RS232/485,LAN

MES-Schnittstelle

Standard

Physikalische Größe des Instruments
(B)×(T)×(H),mm

592 * 498 * 370mm

Spezifikationen des Lecksuchanschlusses

DN16 KF/2 Stück

Stromversorgung

DC24V

Betriebstemperatur

0-40ºC

Leistung

240W

Anzeigesprache

Sowohl Chinesisch als auch Englisch

Anzeige der Leckrate

Abbildung, Balkendiagramm, Kurvendiagramm