Helium-Leckage-Detector-System für Halbleiterkomponenten/Dichtungen in Vakuumkammern

Vakuumkammer-Heliumlecksuchersystem für Halbleiterkomponenten/Dichtungen

Einführung des Heliumlecksuchersystems

Es wird zur Lecksuche an elektronischen Komponenten/Dichtungen verwendet. Die Lösung besteht aus einem Druck-Heliumtank, einem Lecksuchtank und einem Helium-Massenspektrometer-Lecksucher.

Merkmale des Heliumlecksuchersystems

1. Das einzigartige Gaskreislaufdesign verbessert die Pumpgeschwindigkeit von Helium, verkürzt die Hintergrundzeit der Heliumreinigung und verhindert effektiv Heliumverschmutzung;

2. Die kleinste nachweisbare Leckrate ist niedrig, die Empfindlichkeit ist hoch und der Detektionsbereich kann bis zu Stufe 12 betragen;

3. Intelligente Fehleranzeige und Alarmfunktionen.

Zusammensetzung des Heliumlecksuchersystems

Die Lösung besteht aus einem Druck-Heliumtank, einem Lecksuchtank und einem Helium-Massenspektrometer-Lecksucher. Die elektronischen Komponenten oder Dichtungen werden in den Druck-Heliumtank gegeben, das Heliumgas der angegebenen Konzentration

Produktanwendung

Halbleiterindustrie, Komponenten/Dichtungen