Helium-Leckage-Detector-System für Halbleiterkomponenten/Dichtungen in Vakuumkammern
| Product Name: | Helium Leak Detector System | Application: | Semiconductor components/seals |
| High Light: | Vakuumkammer-Leckage-Erkennungssystem,Helium-Leckage-Erkennungssystem,Vakuumlecksuche in Halbleitern |
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Vakuumkammer-Heliumlecksuchersystem für Halbleiterkomponenten/Dichtungen
Einführung des Heliumlecksuchersystems
Es wird zur Lecksuche an elektronischen Komponenten/Dichtungen verwendet. Die Lösung besteht aus einem Druck-Heliumtank, einem Lecksuchtank und einem Helium-Massenspektrometer-Lecksucher.
Merkmale des Heliumlecksuchersystems
1. Das einzigartige Gaskreislaufdesign verbessert die Pumpgeschwindigkeit von Helium, verkürzt die Hintergrundzeit der Heliumreinigung und verhindert effektiv Heliumverschmutzung;
2. Die kleinste nachweisbare Leckrate ist niedrig, die Empfindlichkeit ist hoch und der Detektionsbereich kann bis zu Stufe 12 betragen;
3. Intelligente Fehleranzeige und Alarmfunktionen.
Zusammensetzung des Heliumlecksuchersystems
Die Lösung besteht aus einem Druck-Heliumtank, einem Lecksuchtank und einem Helium-Massenspektrometer-Lecksucher. Die elektronischen Komponenten oder Dichtungen werden in den Druck-Heliumtank gegeben, das Heliumgas der angegebenen Konzentration
Produktanwendung
Halbleiterindustrie, Komponenten/Dichtungen
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